Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Voigt, Sebastian* ; Freitag, Markus ; Sorger, Alexander ; Mehner, Jan
Large dynamic range time domain measurement of Q-factor in MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181392 | |
| Quelle: | Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on. - IEEE, 2015, pp. 2180 - 2183 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | quality factor , MEMS |
