Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Freitag, Markus ;
Sorger, Alexander ;
Voigt, Sebastian ;
Mehner, Jan
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
Numerische und experimentell verifizierte Berechnung fluidischer und thermoelastischer Dämpfung in MEMS
Numeric and experimentally verified modeling of fluidic and thermoelastic damping in MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4100-7 | |
| Quelle: | 6. Mikrosystemtechnikkongress Karlsruhe 2015. - VDE Verlag, 2015, CD-ROM | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Modellierung , Dämpfung , Thermoelastische Dämpfung , Fluidische Dämpfung , Dissipation | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , damping , modeling , thermoelastic damping , fluidic damping |
