Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Müller, Benedikt ; Jahn, Stephan F. ; Peter, Siegfried ; Schubert, Andreas
Determination of the critical strain of thin Plasma CVD insulation layers using the barrel compression test
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Institut 2: | Professur Experimentalphysik mit dem Schwerpunkt Technische Physik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-3-00-050383-2 | |
| Quelle: | 5th. Scientific Symposium "Lightweight Design by Integrating Functions" of the CRC/Transregio 39, 14.-16.09.2015, Dresden, S. 53 - 58 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | strain , barrel compression test , insulation layer , a-SiCN:H , a-C:H , aluminium |
