Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schubert, Andreas ; Drossel, Welf-Guntram ; Jahn, Stephan F. ; Müller, Michael ; Müller, Benedikt
Direkte Integration von Piezosensorik in Aluminiumbleche
Direct Integration of Piezo Sensoric in Aluminium Sheets
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Institut 2: | Professur Adaptronik und Funktionsleichtbau in der Produktion | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-047625-9 | |
| Quelle: | 12. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 21.-22.10.2014, Chemnitz, 6 Seiten (PDF Veröffentlichung) | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | microforming , piezo , sensor , direct integration , micro cavities , PZT , joining by forming |
