Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Arnold, Benjamin ;
Dienel, Marco ;
Mehner, Jan
Mehner, Jan ; Dienel, Marco ; Herrmann, Göran (Eds.)
Entwurfsmethoden zur Systemsimulation von hochauflösenden Beschleunigungs- und Neigungssensorsystemen
Methods for system simulation of high resolution accelerometers and inclinometers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-047625-9 | |
| Quelle: | 12. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 21.-22.10.2014, Chemnitz, S.39-42 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | sensor , MEMS , simulation , modelling |
