Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dorwarth, Markus ; Kehrberg, Steven ; Schmidt, Benjamin ; Bode, Niels ; Döring, Christian ; Schellenberg, Max ; Mehner, Jan
Advanced Die Attach Simulations and Reduced Order Modeling of Stressed MEMS Gyroscopes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-86359-201-1 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration, 26. und 27. März 2014. - Vienna (Austria), 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS Gyroscope; die attach simulation; stress influence |
