Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lang, Heinrich ;
Dietrich, Sascha
O’Brien, Paul, Reedijk, Jan, Poeppelmeier, Kenneth
Metals – Gas-Phase Deposition and Applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-0-08-096529-1 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/B978-0-08-097774-4.00412-5 | |
| Quelle: | In: O’Brien, Paul, Reedijk, Jan, Poeppelmeier, Kenneth: Comprehensive inorganic chemistry II : from elements to applications. - USA : Elsevier, 2013, Pages 211–269. - Volume 4: Solid-State Materials, Including Ceramics and Minerals | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Applications; Atomic layer deposition; Chemical vapor deposition; Decomposition; Decomposition mechanism; Deposition; Gas phase; Main group elements; Metal layers; Metal (nano)particles; Micro-/nanoelectronics; Transition metals |
