Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dorwarth, Markus ; Kehrberg, Steven ; Schellenberg, Max ; Rank, Holger ; Schmidt, Benjamin ; Mehner, Jan
Distortion Measurements and Simulations on Mechanically Stressed Bare Die MEMS Gyroscopes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3490-0 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration SSI, Amsterdam (Netherlands), 2013, Mar 13-14 . - Berlin, Offenbach (Germany) : VDE VERLAG GmbH, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS, Gyroscope, Stress, Bare Die |
