Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ; Mehner, Jan
System level modeling of MEMS at TU Chemnitz MEMS-Design group
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 3937523103 | |
Quelle: | ANSYS Conference & 31th CADFEM Users’ Meeting 2013, June 19-21, 2013, Mannheim, 10 S., 2013 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | system level modeling, MEMS, reduced order modeling, parametric modeling |