Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dienel, Marco ; Naumann, Michael ; Sorger, Alexander ; Tenholte, Dirk ; Voigt, Sebastian ; Mehner, Jan
On the influence of vacuum on the design and characterization of MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0042-207X | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.10.005 | |
| Quelle: | In: Vacuum. - 86. 2012, 5, S. 536 - 546 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , vacuum , damping , quality factor , resonator |
