Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dorwarth, Markus ; Kehrberg, Steven ; Schellenberg, Max ; Rank, Holger ; Schmidt, Benjamin ; Mehner, Jan
Analysis of mechanical stress on MEMS gyroscopes by measurement and simulations
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-039162-0 | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2012, S. 43 - 45 |
