Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kehrberg, Steven ; Wellner, Patrick ; Geckeler, Carsten ; Mehner, Jan
Modal analysis of MEMS using ultrasonic base excitation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-4673-1591-3 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/SSD.2012.6198033 | |
| Quelle: | 9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices, 2012, Chemnitz. - IEEE, 2012 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , base excitation , experimental modal analysis , piezoelectric disc |
