Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
MEMS-Schwingungssensoren : Funktion und Applikation in Medizin und Technik
MEMS-resonators
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-038084-6 | |
URL/URN: | http://www.feinwerktechnik-web.de/images/Literatur_Forschungsberichte_Dienel_Chemnitz2012.pdf | |
Quelle: | 6. Tagung "Feinwerktechnische Konstruktion", 08.11.2012 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Resonator , Schwingungssensor , filter , Bandpass | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , resonator , filter , bandpass |