Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schaufuß, Jörg ;
Mehner, Jan ;
Scheibner, Dirk
SIEMENS AG
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG VON SCHWINGUNGEN
DEVICE AND METHOD FOR DETECTING VIBRATIONS
Kurzfassung
Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst ein schwingfähiges Feder-Masse-System mit Elektrodenstrukturen an zumindest einer Seite des Feder-Masse-Systems, insbesondere mit einer Kammstruktur, das mechanische Schwingungen erfasst. Die Vorrichtung umfasst weiterhin eine Abdeckung, welche das schwingfähige Feder-Masse-System oder eine mit dem schwingfähigen Feder-Masse-System elektrisch verbundenen Elektrode zur Eigenfrequenzabstimmung partiell überdeckt. Das analoge erfindungsgemäße Verfahren zur Erfassung von mechanischen Schwingungen in einem schwingfähigen Feder-Masse- System mit zumindest einer Elektrodenstruktur (3) an zumindest einer Seite, insbesondere eine Kammstruktur, wobei eine Abdeckung, welche die schwingende Masse oder eine mit dem schwingfähiges Feder-Masse-System elektrisch verbundene Elektrode zur Eigenfrequenzabstimmung partiell überdeckt, verschoben (x) wird. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren anzugeben, welches ein Abstimmprinzip umfasst, das nur zur Einstellung der Eigen-/ Resonanzfrequenz Energie benötigt. Weiterhin soll eine Vorrichtung und ein Verfahren angegeben werden, die nach Einstellung der Frequenz im weiteren Betrieb ohne zusätzlichen Energiebedarf arbeitet.
Kurzfassung in englisch
The device according to the invention comprises a spring-mass system that is capable of vibration and has electrode structures on at least one side of the spring-mass system, in particular a comb structure that detects mechanical vibrations. The device further comprises a cover, which partially covers the spring-mass system capable of vibration or an electrode electrically connected to the spring-mass system capable of vibration for modulating the natural frequency. The analogous method according to the invention is used to detect mechanical vibrations in a spring-mass system that is capable of vibration and that has at least one electrode structure (3) on at least one side, in particular a comb structure, a cover that partially covers the vibrating mass or an electrode electrically connected to the spring-mass system capable of vibration for adjusting the natural frequency being moved (x). The aim of the invention is to specify a device and method having a modulating principle that requires energy only to adjust the natural/resonance frequency. Furthermore, a device and method should be specified that operate without additional energy requirements after the frequency has been adjusted.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | WO2011147430A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 01.12.2011 |
