Schubert, Andreas ; Jahn, Stephan F. ; Müller, Benedikt
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-0-9566790-0-0 | |
| Quelle: | 12th eupsen International Conference, 04.05. - 08.05.2012, Stockholm, S. 75 - 79 |
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