Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gröger, S. ; Dietzsch, M. ; Gerlach, M. ; Jeß, S.
'Real mechanical profile' - the new approach for nano-measurements.
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Fertigungsmesstechnik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 1742-6588 , 1742-6596 | |
URL/URN: | doi:10.1088/1742-6596/13/1/004 | |
Quelle: | In: Journal of Physics. 2005, Conference Series 13, S. 13 - 19 |