Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ; Mehner, Jan
A parametric multilevel MEMS simulation methodology using finite element method and mesh morphing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9781467315111 ; 978-1-4673-1512-8 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ESimE.2012.6191776 | |
| Quelle: | Proceedings of the 13th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2012, 2012 Apr 16-18, Lisbon (Portugal), S. 1 - 5 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | parametric simulation, mesh morphing |
