Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Voigt, Sebastian ; Tenholte, Dirk ; Franke, David ; Gessner, Thomas ; Mehner, Jan
Bestimmung des Gütefaktors bei hochresonanten Mikrostrukturen mittels eines logarithmischen Verstärkers
Q-Factor determination of highly resonant microstructures using a logarithmic amplifier
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3367-5 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik Kongress 2011, 10.-12.10.2011, Darmstadt, S.749-752, 2011 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Mikrosystemtechnik, Prüftechnik, Gütefaktor | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS, Test, q-factor |
