Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ;
Mehner, Jan
Gessner, Thomas
An Atomistic Finite Element Study on Mechanical Properties of Semiconductor Microtubes
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 9783800733248 | |
Quelle: | 5th European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems – MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, 22 – 23 March 2011, Dresden. - Berlin; Offenbach : VDE VERLAG GMBH , 2011 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | AFEM, semiconductor microtube |