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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Kolchuzhin, Vladimir ; Mehner, Jan
Gessner, Thomas

An Atomistic Finite Element Study on Mechanical Properties of Semiconductor Microtubes


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: 9783800733248
Quelle: 5th European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems – MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, 22 – 23 March 2011, Dresden. - Berlin; Offenbach : VDE VERLAG GMBH , 2011
Freie Schlagwörter (Englisch): AFEM, semiconductor microtube

 

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