Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schaufuß, Jörg ; Dienel, Marco ; Mehner, Jan ; Scheibner, Dirk
MIKROELEKTROMECHANISCHER SENSOR MIT DIFFERENTIALKONDENSATORPRINZIP
MICROELECTROMECHANICAL SENSOR WITH A DIFFERENTIAL CAPACITOR PRINCIPLE
Kurzfassung
Erfindungsgemäß wird ein mikroelektromechanischer Sensor (3) mit Differentialkondensatorprinzip vorgeschlagen, der einen Kondensator mit einer beweglichen Elektrode (4) und mit mindestens einer feststehenden Elektrode (5) aufweist. Dabei sind die bewegliche Elektrode (4) und die feststehende Elektrode (5) zumindest in einem Teilbereich als ebene Flächen ausgebildet, die parallel zueinander angeordnet sind, d.h. zwischen denen ein Spalt besteht. Mit der beweglichen Elektrode (4) sind erste Mittel (7) zur Spaltreduzierung in einer Justierrichtung (y) verbunden, wobei die Justierrichtung (y) einen zu den ebenen Flächen der Elektroden (4, 5) wesentlich von 90° abweichenden Winkel aufweist. Die Finger der kammförmigen Elektroden sind schräg in Bezug auf die Bewegungsrichtung der Elektroden und auf die Bewegungsrichtung der Justiermittel ausgerichtet.
Kurzfassung in englisch
The invention proposes a microelectromechanical sensor (3) with a differential capacitor principle, which sensor has a capacitor with a moving electrode (4) and with at least one stationary electrode (5). In this case, the moving electrode (4) and the stationary electrode (5) are in the form of flat surfaces at least in a subregion, said flat surfaces being arranged parallel to one another, that is to say there being a gap between them. First means (7) for reducing the gap in an adjustment direction (y) are connected to the moving electrode (4), wherein the adjustment direction (y) has an angle which differs substantially by 90° from the flat surfaces of the electrodes (4, 5). The fingers of the comb-like electrodes are oriented obliquely in relation to the movement direction of the electrodes and to the movement direction of the adjustment means.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | WO002011042041A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 14.04.2011 |
