Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Günther, Markus ; Bialuch, Ingmar ; Peter, Siegfried ; Bewilogua, Klaus ; Richter, Frank
High rate deposition of hard a-C:H films using microwave excited plasma enhanced CVD
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0257-8972 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.surfcoat.2010.12.047 | |
| Quelle: | In: Surface and Coatings Technology. - 205. 2011, Supplement 2, S94 - S98 |
