Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bardos, L. ; Barankova, H. ; Welzel, Thomas ; Dani, Ines ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank
Comparison of the radio frequency hollow cathode to the microwave antenna discharge for plasma processing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0021-8979 | |
| URL/URN: | doi:10.1063/1.1385355 | |
| Quelle: | In: Journal of Applied Physics . - 90 . 2001 , 4 , S. 1703 - 1709 |
