Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baumgärtel, Thomas ;
Graaf, Harald
Hennessy, Theodore C. (Ed.)
Local Anodic Oxidation nanolithography on Silicon, Chemical Routes to Functional Nanostructures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Optische Spektroskopie und Molekülphysik | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 9781617618376 | |
| Quelle: | In: Hennessy, Theodore C. (Ed.): In: Lithography: Principles, Processes and Materials. - Hauppauge, NY, USA : Nova Science Publishers, Inc. , 2011, S. 175 - 193 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Local Anodic Oxidation , Nanolithography , Parallel-Local Oxidation , Anodisation AMS Subject Classification: 53D, 37C, 65P |
