Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Günther, Marcus ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank
Combination of ECR plasma and asymmetric bipolar pulsed bias voltage for deposition of hard a-C:H films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds12.pdf | |
| Quelle: | 2011 |