Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Volltext zugänglich unter
URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-201000265
Siegert, Uwe
Lang, Heinrich (Prof. Dr.) ; Mehring, Michael (Prof. Dr.) (Gutachter)
Silber(I)- und Kupfer(I) - Precursoren für CVD, ALD und Spin-Coating Prozesse
Kurzfassung in deutsch
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Synthese von Phosphan-Kupfer(I)- und Silber(I)-Thiocarboxylaten der Art [(nBu3P)mMSC(O)R] (m = 2, 3; M = Cu, Ag; R = Me, Ph). Die Verbindungen wurden in Hinsicht auf ihr Potential zur thermischen Abscheidung dünner Schichten untersucht.Weiterhin befasst sich diese Arbeit mit der Darstellung von Silber(I)- und Kupfer(I)-Carboxylaten, die im organischen Rest mindestens eine zusätzliche Donorfunktion besitzen ([(nBu3P)mMO2CR]; m = 1, 2; M = Ag, Cu; R = ungesättigter organischer Rest, CH2O(CH2)2OCH3). Das thermische Verhalten und die Anwendbarkeit dieser Komplexe zur Abscheidung dünner Metallschichten mittels CVD-Verfahren wurden untersucht.
Das Verhalten von Phosphan-Silber und -Kupfer-Verbindungen in Lösung wurde mittels dynamischer NMR-Spektroskopie untersucht. Dazu wurden phosphankoordinierte Silber(I)- und Kupfer(I)-Acetate als Modellsystem benutzt und mit einem ausgewählten Vertreter der ungesättigten Carboxylate verglichen.
| Universität: | TU Chemnitz | |
| Institut: | Professur Anorganische Chemie | |
| Fakultät: | Fakultät für Naturwissenschaften | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Lang, Heinrich (Prof. Dr.) | |
| URL/URN: | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2010/0026 | |
| SWD-Schlagwörter: | CVD-Verfahren , Carboxylate , DNMR-Spektroskopie , Kupfer , Phosphane , Silber | |
| DDC-Sachgruppe: | Chemie | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 11.11.2009 |