Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Naumann, Michael ; Mehner, Jan ; Lin, David ; Miller, Todd
Dependency of sticking effects on environmental conditions at MEMS devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-032052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz 2010, S. 77-80 |