Huang, C. ; Chen, D. ; Leidich, Stefan ; Gessner, Thomas
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2009.08.018 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - 87. 2010, 4, S. 584 - 587 |
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