Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wolf, Hermann ; Streiter, Reinhard ; Friedemann, M. ; Belsky, Petr ; Bakaeva, O. ; Letz, T. ; Gessner, Thomas
Simulation of TaNx deposition by Reactive PVD
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2009.11.044 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - 87. 2010, 10, S. 1907 - 1913 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Reactive sputtering , Tantalum nitride , Simulation |
