Hackert, Matthias ; Schubert, Andreas ; Meichsner, Gunnar
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0016-4232 | |
| Quelle: | In: Galvanotechnik. - 101. 2010, 10, S. 2232 - 2236 |
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