Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Günther, Marcus ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank
Spatially and time-resolved optical emission spectroscopy of midfrequency pulsed PECVD
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Physik fester Körper | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2010/regensburg/ds9.pdf | |
Quelle: | DPG Frühjahrstagung Regensburg, 21. - 26. 3. 2010, Regensburg, 2010 |