Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Günther, Marcus ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank
Spatially and time-resolved optical emission spectroscopy of midfrequency pulsed PECVD
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2010/regensburg/ds9.pdf | |
| Quelle: | DPG Frühjahrstagung Regensburg, 21. - 26. 3. 2010, Regensburg, 2010 |