Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kupfer, Hartmut ; Hecht, Günther ; Ackermann, Eckehard
Vakuumverfahren zur Abscheidung funktioneller Schichten für elektrische Kontakte
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2010/0019/index.html | |
| Quelle: | 7. Tagung der Hauptforschungsrichtung „Grenzflächen/Dünne Schichten“, Karl-Marx-Stadt, 1984, S. 147 - 151. - Karl-Marx-Stadt : , 1984 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Beschichtung, Entladung , Erosionszone , Magnet , Magnetronzerstäubung , Target , Zinn |
