Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried ; Günther, Marcus ; Hauschild, Dirk ; Grambole, Dieter ; Richter, Frank
Mid-frequency deposition of a-C:H films using five different precursors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1879-2715 ; Print ISSN: 0042-207X | |
| DOI: | doi:10.1016/j.vacuum.2010.01.023 | |
| Quelle: | In: Vacuum. - Elsevier B.V. - 84. 2010, 7, S. 958 - 961 |
