Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Braeuer, J. ; Hofmann, L. ; Gessner, T.
Development and evaluation of nanoscale reactive structures for low-temperature bonding in Microsystems Technolgy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3183-1 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik-Kongress, Berlin, 2009 Oct 12 -14; Proceedings, 2009 | |
Bemerkung: |
CD-ROM |
