Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schubert, Andreas ; Edelmann, J. ; Burkhardt, T.
Heisgeprägte Glaswafer für Mikrosystemtechnikanwendungen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-3-00-029135-7 | |
| Quelle: | 9.Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, 5./6.Nov.2009; pp. 25 - 30 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Glas , Glasformgebung , Heißprägen , Blankpressen , Präzisionsblankpressen, Mikroumformung, Replikation , Mikrofluidik , Mikrooptik , Mikrosystemtechnik |
