Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Mehner, Jan ; Kniffin, Margaret ; Miller, Todd
MEMS modeling from design to manufacturing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0013-4953 | |
| URL/URN: | http://www2.electronicproducts.com/MEMS_modeling_from_design_to_manufacturing-article-facn_freescale_nov2009-html.aspx | |
| Quelle: | In: Electronic Products Magazine. - Special Sensors & Transducers. 2009, S. 41 - 42 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Design |
