Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Mehner, Jan ; Schmadlak, Ilko ; Hauck, Torsten
Stress Analysis of a Micro-machined Inertial Sensor at Dynamic Load
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 9781424417001 , ISSN 1087-9870 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ITHERM.2008.4544369 | |
| Quelle: | 11th Intersociety Conference on Thermal and Thermomechanical Phenomena in Electronic Systems, 2008, ITHERM 2008, 28-31 May 2008; Proceedings |
