Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Supik, Ella Susann* ; Schreiber, Waldemar ; Wagenfeldt, Andy ; Cho, Jinyoun ; Dessein, Kristof ; Mamiyev, Zamin ; Tegenkamp, Christoph ; Weiss, Charlotte ; Bett, Andreas Walter
High throughput Germanium Homoepitaxy using GeCl4 in an APCVD Batch Reactor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | DFG | |
| Institut: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print ISSN: 2162-8769 ; Online ISSN: 2162-8777 | |
| DOI: | doi:10.1149/2162-8777/ae08e4 | |
| Quelle: | In: ECS Journal of Solid State Science and Technology. - The Electrochemical Society. - 14. 2025, 9, 095002 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Germanium Homoepitaxy | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
