Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Volltext zugänglich unter
URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-962529
Naumann, Michael
Mehner, Jan ; Schrag, Gabriele ; Richter, Andreas (Gutachter)
Kapazitive mikroelektromechanische Beschleunigungssensoren
Capacitive MEMS accelerometers
Kurzfassung in deutsch
In der vorliegenden Arbeit erhält der Leser einen Überblick über kapazitive mikromechanische Beschleunigungssensoren. Neben aktuellen Entwicklungen und möglichen Einsatzfeldern werden auch die grundlegende Funktion sowie die Herstellung kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensoren thematisiert. Vorgestellt werden dabei unter anderem verschiedene Technologiekonzepte, mit deren Hilfe sich MEMS-Beschleunigungssensoren fertigen lassen. Darüber hinaus zeigt die Arbeit auf, wie sich die Funktion, die Qualität und die Zuverlässigkeit mikromechanischer Beschleunigungssensoren durch die konstruktive Gestaltung wesentlicher Sensorbestandteile positiv beeinflussen lassen. Betrachtet werden in diesem Zusammenhang Elektroden, Federaufhängungen, mechanische Anschläge und Massekörper. Durch die Klassifizierung kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensoren und durch die Betrachtung möglicher Verfahren zur Kapazitäts-Spannungswandlung wird sowohl Entwicklern als auch Anwendern die Auswahl einer geeigneten Sensorarchitektur bzw. eines geeigneten Sensors erleichtert. Ebenfalls relevant für die Entwicklung und Anwendung mikromechanischer Sensoren sind die in dieser Arbeit zusammengetragenen Aspekte zur Qualität und Zuverlässigkeit.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Fakultät: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik | |
| Dokumentart: | Habilitation | |
| DOI: | doi:10.60687/2025-0046 | |
| SWD-Schlagwörter: | MEMS , Beschleunigungssensor , Kapazitiver Sensor | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Beschleunigungssensor , kapazitiv | |
| DDC-Sachgruppe: | Ingenieurwissenschaften | |
| Sprache: | deutsch | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 11.03.2025 | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
