Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kupfer, Hartmut ;
Kleinhempel, Ronny ;
Richter, Frank
de Gryse, R. ; Depla, D. ; Poelman, D. ; Mahieu, S. ; Leroy, W. P. ; Poelmann, H.
Description of the cross magnetron effect as a local variation of the process operation point
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978 90 334 7347 0 | |
| Quelle: | In: de Gryse, R. ; Depla, D. ; Poelman, D. ; Mahieu, S. ; Leroy, W. P. ; Poelmann, H.: Proceedings of the 14th. International Conference on Thin Films & Reactive Sputter Deposition ICTF 14&RSD 2008, Gent, Belgium. - Ghent, Belgium : Ghent University, The organizing committee, 2008. - S. 169 - 172 |
