Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Al-Mogahed, Wail ; Voigt, Sebastian ; Mehner, Philipp J. ; Paschew, Georgi ; Richter, Andreas ; Mehner, Jan
Tolerances Effect on Laser Structured Silicon-Based Multi Fourier-Horn Ultrasonic Nebulizer
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-7190-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-7191-8 ; Electronic ISSN: 2375-0448 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 1099-4734 | |
| DOI: | doi:10.1109/UFFC-JS60046.2024.10794078 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/10794078 | |
| Quelle: | 2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (UFFC-JS), 22-26 September 2024, Taipei, Taiwan, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Multi Fourier-horn ultrasonic nebulizer , UV femtosecond laser , silicon laser structuring , Piezoelectric transducer , Adhesive layer |
