Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Al-Mogahed, Wail ; Voigt, Sebastian ; Mehner, Philipp J. ; Paschew, Georgi ; Richter, Andreas ; Mehner, Jan
Multi Fourier Horn Ultrasonic Nebulizer Based on Laser Structuring of Silicon
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-7826-9 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-7827-6 ; Electronic ISSN: 2768-1874 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2836-8487 | |
| DOI: | doi:10.1109/DTIP62575.2024.10613066 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/10613066 | |
| Quelle: | 2024 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 02-05 June 2024, Dresden, Germany, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Fourier horn ultrasonic nebulizer , silicon laser structuring , Piezoelectric transducer , resonance frequency , liquid flow rate | |
Bemerkung: |
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