Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Li, Zhen ;
Gröger, Sophie
Investigation of noise in surface topography measurement using structured illumination microscopy
| Universität: |
| Technische Universität Chemnitz |
| Institut: |
| Professur Fertigungsmesstechnik |
| Dokumentart: |
| Artikel in Fachzeitschrift, referiert |
| ISBN/ISSN: |
| 0860-8229 |
| DOI: |
| doi:10.24425/mms.2021.137706 |
| Quelle: |
| In: Metrology and Measurement Systems. - Polish Academy of Sciences. - 28. 2021, 4, S. 767 - 779 |
| Freie Schlagwörter (Englisch): |
| surface topography measurement , measurement noise , uncertainty , structured illumination microscopy |
| OA-Lizenz |
| CC BY-NC-ND 4.0 |
