Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Berger, T.* ; Herzig, M. ; Hackert-Oschätzchen, M. ; Schulze, H.-P. ; Martin, A. ; Kröning, O. ; Schubert, A.
Experimental Characterisation of a High Dynamic Piezo Module for Resource-efficient Electrothermal Precision Ablation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | Sonstiges | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2212-8271 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.procir.2020.02.299 | |
| Quelle: | Procedia CIRP. - Elsevier BV. - 95. 2020, S. 505 - 510. - 20th CIRP CONFERENCE ON ELECTRO PHYSICAL AND CHEMICAL MACHINING | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Microfabrication , Electrical Discharge Machining , Piezo System , Precision , Process Analysis | |
| OA-Lizenz | CC BY-NC-ND 4.0 |
