Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Klein, Eric* ; Gossler, Christian ; Paul, O. ; Schwarz, Ulrich T. ; Ruther, P.
High-yield indium-based wafer bonding for large-area multi-pixel optoelectronic probes for neuroscientific research
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0960-1317, 1361-6439 | |
| DOI: | doi:10.1088/1361-6439/ab2a53 | |
| Quelle: | In: Journal of Micromechanics and Microengineering. - IOP Publishing. - 29. 2019, 9, 095006-1 - 095006-10 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | thin-film LED , indium bonding , wafer-scale transfer process , optogenetics |
