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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Voigt, Sebastian

Entwurf, Aufbau und Test einer MEMS 3-DOF Positionierplattform mit elektrothermischen Antrieben

Design, Fabrication and test of a 3DOF positioning platform with electrothermal MEMS actuators


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
URL/URN: http://www.dgft-ev.de/files/Berichte/2019_Voigt.pdf
Quelle: 13. Tagung "Feinwerktechnische Konstruktion". - Dresden, 2019
Freie Schlagwörter (Deutsch): MEMS Positioniierung
Freie Schlagwörter (Englisch): MEMS , thermal actuator , positioning

 

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