Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Entwurf, Aufbau und Test einer MEMS 3-DOF Positionierplattform mit elektrothermischen Antrieben
Design, Fabrication and test of a 3DOF positioning platform with electrothermal MEMS actuators
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | http://www.dgft-ev.de/files/Berichte/2019_Voigt.pdf | |
| Quelle: | 13. Tagung "Feinwerktechnische Konstruktion". - Dresden, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS Positioniierung | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , thermal actuator , positioning |
