Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schmidt, Henry ; Mehner, Jan ; Kriebel, David ; Arnold, Benjamin
Automated fluid domain modeling for perforated MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | Industrie/Wirtschaft | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-7281-3286-0 ; Print ISBN: 978-1-7281-3288-4 ; USB ISBN: 978-1-7281-3287-7 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-7281-3257-0 | |
| DOI: | doi:10.1109/DTIP.2019.8752711 | |
| URL/URN: | https://www.researchgate.net/publication/334235387_Automated_fluid_domain_modeling_for_perforated_MEMS | |
| Quelle: | Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS, DTIP 2019, Paris, 12.05.2019-15.05.2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | System Modeling , MEMS , CFD , Conformal Mapping , Perforations |
