Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nagel, Christian* ; Zoller, Tobias ; Ante, Frederik ; Classen, Johannes ; Putnik, Martin ; Mehner, Jan
Radiometric effects in MEMS accelerometers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-1012-7 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5090-1013-4 | |
| DOI: | doi:10.1109/ICSENS.2017.8233871 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8233871/ | |
| Quelle: | IEEE Sensors 2017, 29.10. - 01.11.2017, Glasgow, Scotland | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , accelerometers , teeter-totter , temperature gradients , TGO , temperature gradient offset , radiometric force , Knudsen force , rarefaction |
