Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Mehner, Jan ; Schmidt, Henry ; Sorger, Alexander ; Freitag, Markus
Challenges in the design of microsystems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-9816876-4-4 | |
| Quelle: | SENSOR 2017, the 18th International Conference on Sensors and Measurement Technology, Nürnberg, 30.5.-1.6. 2017, CD-ROM | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Simulation , Reduced Order Model |
