Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schmidt, Henry ; Naumann, Michael ; Mehner, Jan
Bestimmung äquivalenter mechanischer Materialparameter für perforierte MEMS auf Basis numerischer Optimierung
Determination of Equivalent Mechanical Material Parameters for Perforated MEMS Based on Numerical Optimization
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-054047-9 | |
| Quelle: | 13. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 25./26. Oktober 2016, Chemnitz, S. 35-40 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Materialparameter , Simulation , Modellierung , Ordnungsreduktion , Perforation , FEM | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEM , material property , simulation , order reduction , perforation , FEM |
