Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kräusel, Verena ; Barthel, Tom
Verfahren und Vorrichtung zur Beeinflussung der Schichtdickenverteilung auf Substraten sowie derart beschichtete Substrate
Kurzfassung
DE102013208771A1 [DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beeinflussung der Schichtdickenverteilung auf Substraten bei Sputterprozessen unter Verwendung von mindestens zwei Magnetrons. Ebenso betrifft die Erfindung beschichtete Substrate mit einer ausgezeichneten Homogenitaet der Beschichtung.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Umformtechnik | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | DE102013208771A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 27.11.2014 | |
| Internationale Patentklassifikation | B21D28/00 |
